[경제][산업] 화합물 반도체
반도체 / 비메모리 / 반도체 소자 / 소재/ 차세대 / 다음세대 신소재
화합물 반도체
- ’화합물 반도체’는 2 종류 이상의 원소로 구성되어 있는 반도체
- 대표적인 화합물 반도체는 SiC, GaN, GaAs 등이 있다.
- 근시일내 폭발적 성장을 나타낼 것으로 확실시 되는건 GaN(질화갈륨)과 SiC(실리콘 카바이드)
- 원소의 조합을 목적에 따라 변화 –> 특화성이 있는 반도체를 제조 가능
- 화합물 반도체의 주된 어플리케이션
- 시스템 반도체
- 개별 소자
- 광 소자
- 화합물 반도체 시장 기술 성숙도도 ’시스템 반도체 점유율’과 비슷하다.(me: 아무래도 많이 사용하는 쪽이 기술수준이 높다.)
- 시스템 반도체 점유율
- 미국 58.1%
- 일본 18.5%
- 한국 5.1% 수준
- 화합물 반도체가 폭넓게 사용된 시장은 방위산업 분야 였지만 5G 통신망 확대, 전기차 시장 성장, 신재생 에너지 생산시설 확대로 보편적사용이 가시화되고 있음
- 5G 통신망
- 전기차 시장
- 신재생 에너지 생산시설
단원소 반도체
- Si(실리콘), Ge(게르마늄)과 같은 ’단원소 반도체’와 구분된다. 이 단원소 반도체가 우리가 흔히 부르는 반도체이다.
- 반도체 공정 선폭이 10나노 미만에 다다르며
--> 생산공정의 어려움
--> Si의 물성 한계에 따른 근본적 문제점이 부각
10나노 이하의 극미세 공정 - 트랜지스터 크기를 미세화 –> 소자 간 간격이 좁아져(좁은 선폭) –> 저항이 증가 –> 메탈 저항(RC delay)이 커진다. –> 발열 문제가 발생
RC Delay 란?
RC = Resistivity * Capacity. 두 수를 곱하면 시간의 단위가 되는데 이를 time constant라고하며, R,C로인한 Delay가 일어나는 정도를 표현함. RC Delay는 미세공정에서 필연적으로 커질 수 밖에 없음. 따라서 Resistivity, Permittivity를 낮추기 위해 Al –> Cu / SiO2 –> Low K
누설전류 –> 발열현상
- 인텔은 그래서 HKMG 구조를 이용(ref. 4)
화합물 반도체 소재
- 화합물 반도체 소재는 다양하다.( GaAs, InP, GaN, ZnO, SiC, SiGe, GeSbTe 등)
- 각각이 특유한 전기적 특성을 보유한다.
- 실리콘 보다 전자 이동 속도가 5 ~ 10배 이상 빠르다. –> 전자이동속도가 빠르면 전력 소모량이 적다. –> 실리콘 보다 전력 소모량이 10배이상 적다.
대체로 다음 4가지 특성이 있다.
- High Speed
- High Voltage
- high Frequency
- High T℃ application
GaN - 전력 변환 장치 사용에 용이(RF 장비 및 가전) - 빠른 스위칭 속도와 - 밴드갭이 Si 대비 3배가 높다. SiC - 전기차 및 전력 변환 장치 사용에 용이 - 고전압과 고내열성을 보유 - 밴드갭이 Si 대비 3배가 높다.
이미 GaN, SiC는 8인치 웨이퍼 상용화 단계에 돌입
- 글로벌 자동차 반도체 전문 기업들
- 전력반도체 전문 업체들
극내 기업은 글로벌 리딩 기업과의 기술 격차 존재
- 국내 기업들은 이제 4인치 웨이퍼 상용화를 끝냄
- 6인치에 도전중
향후 가장 빠르게 성장할 것으로 예상되는 전기차 시장과 RF시장
생산 능력
- 전세계 804개의 전력 및 화합물 반도체 생산시설(SEMI, 2019년 기준)
- 이 생산시설 CAPA는 200mm(8인치) 웨이퍼 기준 ‘월 800만장’
- 2024년에는 약 38개의 신규 생산시설이 추가로 운영을 시작예정
- +20%의 생산량이 증가한 ’월 960만장’이 될 것으로 전망
- 각국은 공격적 투자를 이어갈 듯
- 향후 전기차, 5G 시대 주도권 확보를 위해서
--> 전력 및 화합물 반도체 산업에서의 리딩 파워가 필요
- 향후 전기차, 5G 시대 주도권 확보를 위해서
- 하지만 지금의 반도체 회사들이 실리콘 기반 반도체 생산을 위해 투입한 투자금액이 너무 커 신소재와 신기술이 개발되더라도 쉽게 반도체 생산 공정을 바꾸기는 어려움
- 그래서 화합물 반도체를 실리콘 기판 위에 집적시켜 화합물 반도체 채널을 이용한 트랜지스터를 제작하는 시도 또한 진행
- 중국 : 가장빠른 성장세
- 전력 반도체 CAPA는 2024년까지 +50% 증가,
- 화합물 반도체 capa는 +87% 성장할 것으로 전망
- me: 중국은 실리콘 기반 반도체 생산시설에 투자한 금액이 상대적으로 적어서 빠르게 옮겨갈 수 있을듯.
- 대만
- 전력 반도체에 집중하는 듯.
- 북미 지역
- 화합물 반도체 생산량 증가에 중점을 두는 듯.
반도체 분류
Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체
- Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체는 기존 실리콘 반도체보다 높은 전자 이동도를 보이며 소비전력도 적어 고성능 핵심소재로 인식
- 제조공정이 비싸다.
- 지금까지는 방위산업, 우주개발, F1 등 특수 분야에 한정적으로 이용되고 있다.
- 현재(2021-04) 질화갈륨(GaN)와 갈륨비소(GaAs), 인화인듐(InP), 안티몬화인듐(INSb)의 연구가 활발히 진행중
- 전자 이동속도는 기존 실리콘 반도체보다 수십 배 빠르다
- 소비전력은 기존 반도체 대비 1/8 ~ 1/10 수준
최근 각광을 받고 있는 기술
효과적이지만 저비용의 화합물 반도체 소자를 제작하는 방식 주목 –> Si반도체 생산 공정을 최대한 활용
- 필요한 부분에만 인듐갈륨비소(InGaAs)를 접착
- 접착제를 사용하지 않고 서로 다른 기판을 접합하는 기술인 ‘웨이퍼 본딩’ 공정 이용
- 실리콘 기판 위 전자가 이동하는 ‘반도체 채널’ 부분에만
Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체인 인듐갈륨비소(InGaAs)를 얇고 균일하게 형성
관련 기업
- 해외: Infinion, ROHM, On Semiconductor, CREE, Ⅱ-Ⅵ
- 국내: 실리콘웍스, 예스티, 에이프로, RFHIC
해외
- 인피니언(Infinion)
- 2014년 8월, ’GaN 기술’을 보유한 ’인터내셔널 렉티파이어’를 30억달러(3조 2400억원)에 인수
- 인피니언은 전력반도체 시장에서 입지를 강화하기 위해
- 인수 금액은 인피니언 설립 이후 최대 규모
- 2018년 11월, 콜드 스플릿 기술을 개발한 시텍트라 인수를 결정
- 콜드 스플릿 기술은 SiC웨이퍼를 절단해 하나의 웨이퍼에서 칩 수를 두배로 생산 가능하게 해주는 기술
- 핵심 관련 기업과의 ‘화합물 반도체 생태계’ 조성을 준비
- 2014년 8월, ’GaN 기술’을 보유한 ’인터내셔널 렉티파이어’를 30억달러(3조 2400억원)에 인수
- 투식스
- 스웨덴 기업인 Ascatron을 인수
- SiC Substrate와 SiC Epiwafer까지 공급
- 시장 지배력 높이고 있다.
- 일본 반도체 기업 로옴(ROHM)
- 2018년 6월 전력 반도체 업체인 GaN시스템과 협업 –> 본격적으로 GaN 전력 디바이스 사업을 시작
- GaN시스템은 트랜지스터, 로옴은 전자부품 설계, 제조 기술을 제공하기로 협약
- GaN 시장에서 가장 급속하게 성장하고 있는 아시아를 중심으로 사업을 전개
- SiC 파워 디바이스를 탑재할 차량용 애플리케이션 기술을 교류
- 중국 신에너지 자동차용 구동 분야 기업인 ’리드라이브테크놀로지’와 2017년부터 협력관계
- 이를 발판으로 양사는 2020년 6월 중국 상하이 자유무역시험구에 ’SiC 기술 공동 연구소’를 개설함.
국내
- 시장 규모가 크고 경제성이 높은 화합물 반도체 전자 소자는 대부분 GaAs, GaN, SiC, SiGe로 제작
- GaAs
- GaN
- SiC
- SiGe
- 한국 정부도 차세대 전력 반도체로 꼽히는 화합물 반도체를 중심으로 대규모 전력 반도체 연구 개발을 추진 중
- 부산테크노파크
- 파워반도체 상용화 센터를 구축해 운영
- 국내 전력반도체 클러스터로 SiC 파워 반도체 신뢰성 평가 및 위탁생산(파운더리) 시설 운영
- 메모리에 편중된 현 반도체 산업 구조를 다원화 하기 위해 파운더리 비즈니스 비메모리 반도체 설계 기술까지 고도화해 글로벌 반도체 패권 을 전반적으로 확대 시키려는 노력을 하는 중
화합물 반도체의 시장규모 순위
- 해외 시장
- 솔라셀 소재
- LED소재
- 전자/전력 소재
- 국내 시장
- 전자/전력 소재
- 솔라셀 소재
- LED소재
LED 시장
- 화합물 반도체의 활용도는 점차 증대
- 1996년 InGaN 청색 LED에 형광 물질을 결합시켜 제작한 고휘도 백색 LED의 등장
--> 반도체 조명시대를 열기 시작 - 90년대 중반 이후 질화갈륨(GaN) 청색 LED가 개발
--> LED를 이용한 총천연색 Display가 가능 - UV LED
- 최근 사용 어플리케이션이 늘어나고 있다.
- 화합물 반도체를 활용해 제작
- 375nm이하의 UV 파장에서는 LED의 효율이 급격히 감소
- 이를 위해 활성층에 대한 ‘응력’ 및 ’전위 밀도’를 감소시켜야한다.
- 이를 위해 n형, p형 AlGaN/GaN 초격차층을 삽입
태양전지 시장
- 화합물 반도체인 GaAs계 태양전지는 주로 위성용 태양전지에 적합한 특성
- 일반 태양 전지는 ’실리콘 웨이퍼’를 사용
- GaAs 기술은 주로 위성 산업이 발전한 선진국 위주로 발전
- 대표적 국가: 미국, 러시아, 일본, 독일
- 갈률비소계 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체
- 공정 소요시간이 오래 걸린다.
- 사용하는 소재들이 고가
- --> 주로 고성능 전자부품 시장을 형성
- --> 위성산업이 이에 적합한 산업
- Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체 태양전지
- 대기권 밖 우주에서 효과적
- 광전변환 효율이 Si보다 15% 이상 높고
- 온도 안정성 우수
- 방사능 내성 우수
- 대기권 밖 우주에서 효과적
- 화합물 반도체를 이용한 태양전지 시스템
- 현재 스펙트로랩(Spectrolab, 보잉의 자회사)와 엠코어(emcore)가 상용화를 준비
- InGaP/GaAs/Ge 구조
- 비집광시 28 ~32%, 집광시 37~ 40%의 전환 효율
전력 반도체 시장
- 전력 반도체는 ’전력 변화’에 쓰이는 반도체
- 신규 수요로 급성장
- 스마트 그리드
- 전기차 등
- 글로벌 전력 반도체 시장
- 2019년 400억달러
- → 2020년 450억달러까지 +12.5% 성장
- 화합물 전력 반도체 시장 규모
- 2021년 10억달러(1조 2천억원)에도 달할 것으로 전망
- SiC, GaN전력 반도체의 판매액(Omdia 조사)
- 2018년 5억 7100만달러 → 2020년 8억 5400만달러로
- 2년간 +49.6%성장함
- 해외에서도 상용화 초기 단계
- 화합물 전력 반도체 시장은 향후 10년간 매년 두 자릿수성장을 지속해 2029년 시장 규모는 50억달러를 넘어설 것으로 전망
국내 전력 반도체 시장
- 소비량의 90%를 해외에서 공급받고 있다
- PMIC(전력 관리 반도체)일부만 국내 생산중
- 생산 채산성 맞지 않음
- 이유: 해외 기업 특허선점
- 최근, 전기차 보급 확대 --> 화합물 전력 반도체 시장이 집중을 받고있음 --> 글로벌 기업들의 투자와 연구가 집중
전력반도체 분류
SiC전원 모듈 두가지
- SiIGBT와 SiC다이오드로 구성된 ‘하이브리드 SiC전원 모듈’
- 순수 SiC모듈
하이브리드 SiC전원 모듈의 사용처
- 태양광 인버터
- 무정전 전원 공급 시스템
- 산업 애플리케이션
Full SiC 전원 모듈은 높은 성장 전망
- 전기차, 충전기 적용이 확대될 것으로 예상
전력 반도체별 기술 발전 단계
전력 모듈 소형화 + 소비 전력 감소
- 작동온도 상한이 500 ~ 600 ℃로 높다.
- 열전도율이 높다. –> 전열면적이 적어도 냉각이 용이 —> 인버터 소형화 가능
- 전력 변환 손실을 큰 폭으로 줄일 수 있다.
- 송배전용이나 분산 전원용 전력 소자로 화합물 반도체를 적용
- 손실 감소 –> 소비전력이 감소한다.
- 손실 감소 –> 주변부품의 생략 가능 –> 소형화 가능 –> 전력변환기의 크기 감소 가능
- F1 자동차 경주차에 화합물 반도체가 보편적으로 사용
- 화합물 반도체를 적용하면 부피, 무게를 확 줄일 수 있다.
사업성
- 사업성 높은 전력 반도체: GaN과 SiC
- 대부분의 글로벌 리딩 기업들이 GaN과 SiC에 집중
- 생산 비용이 Si전력 반도체 대비 높다.
- 공정 개발이 성숙되지 않음 –> 생산성이 떨어짐
생산성이 점진적으로 향상될 것으로 예상
- 전기차 보급 확산 –> 시장이 빠르게 성장 –> 기술이 점차 축적 –> 생산성이 점진적으로 향상될 것으로 예상
- 현재, 2인치 ‘화합물 반도체’ 웨이퍼 가격이 12인치 ‘실리콘’ 웨이퍼보다 40배 가량 비싸다.
GaN 전력 반도체
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